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什么是电子束加工?

2021-11-29 08:21:49

什么是电子束加工


电子束加工是利用高能量的会聚电子束的热效应或电离效应对材料进行的加工。例如对材料表面进行热处理、焊接、刻蚀、钻孔、熔炼或直接使材料升华。电子束的特点是功率密度大,能在瞬间将能量传给工件。电子束的能量和位置可以用电磁场JING确和迅速地调节,实现计算机控制。在微电子工艺中,电子束曝光是一种重要的亚微米加工技术,通过控制电子束辐照光致抗蚀剂的特定位置,以形成极精细的图形。它在大规模集成电路和微波半导体器件的生产中已得到应用。


电子束加热技术是在高真空条件下利用高速运动的电子运动动能转换成热能的一种加热技术。


在真空条件下利用材料的电子热发射产生电子云,在直流高压加速电场的作用下,电子产生定向运动,通过聚焦形成电子束。当高能电子束轰击到所需加热的金属靶时,高能电子与靶材发生碰撞,将电子动能转换为热能,由于电子束功率密度大,使靶材瞬时高温熔化。


真空电子束熔炼是在高真空条件下,利用电子束轰击所需熔炼的材料使之瞬间高温熔化,由于材料过热温度高,气体杂质迅速分解、脱气、脱氧、低熔点杂质快速挥发,从而达到精炼提纯的目的。


电子束水平熔炼炉

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电子束熔炼炉

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