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(1)电子枪:电子枪是电子束熔炼炉的心脏。它包括枪头(一般由灯丝、阴极、阳极等组成)、聚焦线圈和偏转线圈等。电子枪按其结构形式可分为轴向枪(或称皮尔斯枪)、非自加速环形枪、自加速环形枪及横向枪。电子枪的数量有单枪、双枪和多枪等;
(2)进料系统:如果原料为预制好的自耗电极时,一般采用纵向或横向机械进料方式:如果原料为屑、块或顺粒状时,则采用给料仓的方式;
(3)铸锭系统:包括结晶器、拉锭机构和出锭机构等;
(4)真空系统:包括真空机组、真空室、真空管道及阀门和真空测量系统等;
(5)电源系统;包括主电源(电子枪电源)及控制电源和操作电源等;
(6)冷却系统:包括全部冷却用水及管道阀门等 。
主要有熔化功率、熔化速度、比电能、真空度和漏气速率等,如熔炼次数、自耗电极与坩埚直径比、冷却速率及铸锭冷却制度等也须注意合理选择。在诸参数中,熔化功率、熔化速度及比电能是影响铸锭质量*重要的因素。在整个熔炼过程中,这3个参数的控制应有所变化。
熔炼初期,真空度比较低,炉料及坩埚都处在常温下,熔池尚未形成,熔化功率应低一些,熔速应慢一些;熔化末期,为了消除铸锭顶部缩孔,熔化功率及熔速必须有一个逐步下降的过程,以完成补缩。补缩时间的长短与铸锭的大小及熔化金属的种类有关;而在熔炼中间大部分的正常熔化期内,熔化功率及熔速应保持稳定。